?激光退火加工是一種利用激光加熱材料表面,將材料曝露于高溫一段很長時間后,然后再慢慢冷卻的熱處理制程。這種工藝的主要目的是釋放應力、增加材料延展性和韌性、產生特殊顯微結構等。
其特點是能夠調整基體組織、降低硬度、細化晶粒和消除內應力。近年來,激光退火技術也成為半導體加工行業的一種新工藝,可大幅提高集成電路的集成度。激光退火加工具有許多優點,包括:
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加工精度高:激光退火加工可以實現高精度的加工,有效提高材料的機械性能和表面質量。
加工速度快:激光退火加工可以實現高速的加工過程,大大提高生產效率。
材料適用性廣:激光退火加工可以適用于各種材料的加工,包括金屬、非金屬等。
環保性能高:激光退火加工不需要使用任何化學物質,因此對環境沒有污染。